Установка вакуумного напыления PVD GALACTIC GAVA 500 CAPVD

Установка вакуумного напыления PVD GALACTIC GAVA 500 CAPVD была построена в 2022 году в Польше. Эта чрезвычайно технически совершенная система предназначена, в частности, для нанесения на режущий инструмент, пресс-формы и пуансоны сверхпрочных покрытий с высокой стойкостью к истиранию и воздействию химических веществ. Используемый метод CAPVD (Cathodic Arc Physical Vapour Deposition), по сравнению со стандартными методами PVD, позволяет получать высокоплотные и адгезивные покрытия с хорошей скоростью осаждения и толщиной (± 5 нм).

При этом атомы из источника (катода), помещенного в рабочую камеру, испаряются с помощью электрической дуги. Затем эти атомы переносятся и осаждаются на поверхности заготовок, создавая тонкое покрытие. Установка вакуумного напыления PVD GAVA 500 оснащена всеми необходимыми компонентами с наилучшими техническими характеристиками и соответствует самым высоким промышленным стандартам.

Технические характеристики установки для PVD-напыления GALACTIC GAVA 500 CAPVD

• ПЛК-контроллер: MITSUBISHI A1S1
• типы покрытий: TiN, TiCN, TiAlN, TiAlNEX, CrN, ZrN, CrAlN, TiSiAlN, AlCrN, ZrO, CrCO
• размеры вакуумной камеры (диам. x в): ⌀600 x 600 мм
• максимальный вес заготовки: 500 кг
• максимальный вакуум: 5x 6-10 мбар
• испаритель CAPVD (2 шт.)
• насос Roots: LEYBOLD 501 S (2 шт.)
• производительность насоса Roots: 4040 м3/ч
• давление насоса Roots: 3-10 мбар
• турбомолекулярный насос: LEYBOLD MAGiNTEGRA
• производительность турбомолекулярного насоса: 2000 л/с
• давление турбомолекулярного насоса: 6-10 мбар
• компрессор
• охлаждающее устройство (chiller)
• спутниковые захваты (18 шт.)
• распределение технологического газа: массовые расходомеры с датчиками
• контроль температуры: термопара K-типа
• электропитание установки GALACTIC GAVA 500 CAPVD: 3x 400 В; 50 Гц