GALACTIC GAVA 500 CAPVD PVD porlasztógép

GALACTIC GAVA 500 CAPVD PVD porlasztógép 2022-ben készült Lengyelországban. Ez a rendkívül fejlett műszaki megoldásokkal rendelkező rendszer többek között vágószerszámok, szerszámformák és lyukasztók bevonására szolgál szuperkopásálló bevonatokkal, amelyek nagy kopás- és vegyszerállósággal rendelkeznek. Az alkalmazott CAPVD (Cathodic Arc Physical Vapour Deposition) módszer a hagyományos PVD-módszerekkel összehasonlítva lehetővé teszi a rendkívül sűrű és tapadó bevonatok előállítását jó lerakódási sebességgel és vastagsággal (± 5 nm).

Az eljárás során a munkakamrában elhelyezett forrásból (katód) származó atomokat elektromos ív segítségével párologtatják el. Ezek az atomok ezután átkerülnek és lerakódnak a munkadarabok felületére, és vékony bevonatot hoznak létre. A GAVA 500 PVD porlasztógép a legjobb műszaki jellemzőkkel rendelkező összes szükséges alkatrésszel van felszerelve, és megfelel a legmagasabb ipari szabványoknak.

A GALACTIC GAVA 500 CAPVD PVD porlasztógép műszaki adatai

• PLC vezérlő: MITSUBISHI A1S1
• bevonattípusok: TiN, TiCN, TiAlN, TiAlNEX, CrN, ZrN, CrAlN, TiSiAlN, AlCrN, ZrO, CrCO
• vákuumkamra méretei (átmérő x m): ⌀600 x 600 mm
• maximális munkadarab súly: 500 kg
• maximális vákuum: 5x 6-10 mbar
• CAPVD elpárologtató (2 db)
• Roots szivattyú: LEYBOLD 501 S (2 db)
• Roots szivattyú teljesítménye: 4040 m3/h
• Roots szivattyú nyomása: 3-10 mbar
• turbomolekuláris szivattyú: LEYBOLD MAGiNTEGRA
• turbomolekuláris szivattyú teljesítménye: 2000 l/s
• turbomolekuláris szivattyú nyomása: 6-10 mbar
• kompresszor
• hűtőberendezés (chiller)
• szatellit fogantyúk (18 db)
• technológiai gázelosztás: tömegáramlásmérők érzékelőkkel
• hőmérséklet-szabályozás: K-típusú termoelem
• a GALACTIC GAVA 500 CAPVD gép áramellátása: 3x 400 V; 50 Hz